【仪器名称】X射线光电子能谱仪

【仪器品牌】Thermo Fisher

【仪器型号】EscaLab Xi⁺

【购置时间】2020年

【放置地点】C106

【功能特色】

材料表面元素成分分析仪器，具备XPS点扫描、线扫描、面扫描、XPS成像、氩离子刻蚀、氩离子团簇刻蚀、变角XPS、UPS、ISS、REELS等功能。

【主要技术指标】

分析室极限真空优于5×10-10mbar，能量扫描范围0~5000eV；通过能范围1~400eV连续可调；微聚焦单色化X射线源Al靶；最佳能量分辨率：对Ag3d5/2，半高宽<0.43eV，灵敏度>150kcps；最高灵敏度：Ag3d5/2峰，半高宽<1eV ，灵敏度>4Mcps等。

【仪器图片】