【仪器名称】场发射扫描电镜

【仪器品牌】日立

【仪器型号】Regulus

【购置时间】2017年

【放置地点】C113

【功能特色】

该电镜主要用于材料的微观表面观察与成分分析，包括纳米结构材料的观察和表征。此外，还要求对一些容易受电子束损伤的样品和导电性差的样品可以在低加速电压下进行直接观察。

【主要技术指标】

分辨率:≤0.8nm (加速 电压15kV)，≤2.Onm (加速 电压1kV)，≤1.1nm (照射 电压1kV,使用减速装置)；加速电压:最低0.1kV，最高30kV， 0.1kV/步；放大倍数:最小≥20倍，最大≤100万倍(底片模式)，最小≥60倍，最大≤200万倍(显示器模式)；工作距离:最小≥1.5mm，最大≤30mm。

【仪器图片】